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Solid-phase Crystallization of Hydrogenated Amorphous Silicon on Glass Substrates
JIN Rui-min LU Jing-xiao FENG Tuan-hui YANG Shi-e ZHANG Li-wei 
作者单位
摘要
Key Laboratory of Material Physics for Ministry of Education, Zhengzhou University, Zhengzhou 450052, CHN
PECVD A-Si: H film Furnace annealing Rapid thermal annealing Grain size 
PDF全文 Full Text
半导体光子学与技术
2006, 12(1): 15
Solid-phase Crystallization of Amorphous Silicon Films by Rapid Thermal Annealing
JIN Rui-min LU Jing-xiao LI Rui WANG Hai-yan FENG Tuan-hui 
作者单位
摘要
Lab. of Mater. Phys. of MEC, Zhengzhou University, Zhengzhou 450052, CHN
Amorphous silicon Solid-phase crystallization Rapid thermal annealing 
PDF全文 Full Text
半导体光子学与技术
2005, 11(1): 37
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